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海德漢光柵尺的測量原理與測量基準

2018-12-11 1787次瀏覽 來源:網絡

  海德漢光柵尺的測量原理與測量基準

光柵尺

  海德漢公司的光學掃描型光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線-光柵。

  這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺基體為鋼帶。

  這些精密光柵通過多種光刻工藝制造。光柵刻制方法有:

  •   在玻璃上鍍硬鉻線

  •   在鍍金鋼帶上蝕刻線條

  •   在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結構圖案。

  海德漢公司開發的光刻工藝生產的柵距典型值為40 um至4 um。

  這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法,這些邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵。

  母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

  *測量法

  *測量法是指編碼器通電時就可立即得到位置值并隨時供后續信號處理電子電路讀取。無需移動軸執行參考點回零操作。*位置信息來自光柵,它由一系列*碼組成。單獨的增量刻軌信號用于細分處理后得到位置值,同時也能生成供選用的增量信號。

  增量測量法

  增量測量法的光柵由周期性的柵狀線條組成。位置信息通過計算自某點開始的增量數(測量步距數) 獲得。由于必須用*參考點確定位置值,因此在光柵尺或光柵尺帶上還刻有一個帶參考點的軌道。參考點確定的光柵尺*位置值可以精確到一個測量步距。必須通過掃描參考點建立*基準點或確定上次選擇的原點。

  有時,機床需要的運動行程很大。為加快和簡化“參考點回零”操作,許多光柵尺刻有距離編碼參考點,這些參考點彼此相距數學算法確定的距離。移過兩個相鄰參考點后(一般只有數毫米) (見表),后續電子電路就能找到*參考點位置。如果光柵尺編碼器型號后有字母“C"表示是距離編碼參考點(例如LS487C )。


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